CLL42 - 大型旅行压电位移台

CLL42 具有安装有效载荷的大平台、长行程范围以及可更换的驱动装置。

CLL42 配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，确保可以轻松接触到位移台的核心部件--压电驱动器。这使得维修工作变得非常简单。它还提供高真空版本。标准型号的行程为 97、177、257、377、497 和 617 毫米。当然，也可根据要求提供特殊长度。

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技术参数

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下载规格表	机械参数
机械参数
行程 [mm]	99 … 619
导轨长度 [mm]	160 ... 680
阻挡力 [N]	≥ 5
最大法向力 [N]	30
尺寸 [mm]	60 x 16 (open-loop carriage)
重量 [g]	Length-dependent
	开环
开环
Velocity [mm/s]	> 10
Open-Loop Resolution MCS2 [nm]	< 1
Open-Loop Resolution (H)CU [nm]	50
	闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm]	1 (S), 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]	± 100 (S)
	选项
选项
材料选项	Multiple carriages; Counterbores; Tapped holes (M4)
机械选项	Multiple carriages; Counterbores; Tapped holes (M4)
真空选项	HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

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