Hochpräzise kontaktlose Messung von Verschiebungen

Für die hochpräzise Messung von Verschiebungen bietet SmarAct das PICOSCALE Interferometer an.

  • 3 parallele Laserinterferometer in einem Gerät für 3D-Messungen
  • Messbandbreite bis 2,5 MHz (10 MHz Abtastrate) mit einer Auflösung bis 1 pm1
  • Messungen an den meisten Materialien (Kunststoff, Glas, Metall und sogar Wasser) möglich
  • Große Auswahl an Sensorköpfen für verschiedene Anwendungen und Umgebungen (einschließlich Vakuum und Kryotechnik) verfügbar
  • Erweiterbar zu einem kompletten Labormesssystem und Regelgerät mit optionalen Modulen
  • Bewährte Leistung mit hunderten zufriedenen Kunden

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1 Bei der Analyse periodischer Verschiebungen im Frequenzbereich

 

Funktionsprinzip

Alle PICOSCALE-Produkte nutzen das Prinzip des Michelson-Interferometers: Ein Lichtstrahl wird durch einen Strahlteiler in zwei Wege aufgeteilt, an Spiegeln reflektiert und anschließend wieder zusammengeführt, wodurch ein Interferenzmuster entsteht. Schon kleinste Änderungen der optischen Weglänge – etwa durch Verschiebungen oder Brechungsindexschwankungen – beeinflussen dieses Muster und ermöglichen hochpräzise Messungen minimalster Veränderungen.

Eine detaillierte Erklärung zu diesem Prinzip finden Sie in unserer Technologie Sektion zum Thema Michelson Interferometrie.

 

 

Vorteile von Michelson Interferometrie

Michelson-Interferometer zeichnen sich durch ihre außergewöhnliche Präzision und Zuverlässigkeit aus: Sie spalten Lichtstrahlen auf, führen sie wieder zusammen und messen so kleinste Verschiebungen, Vibrationen oder Brechungsänderungen mit Genauigkeiten im Nano- oder Subnanometerbereich. Dank ihrer Vielseitigkeit, dem berührungslosen Messprinzip und der Fähigkeit, auch in anspruchsvollen Umgebungen zuverlässig zu arbeiten, sind sie unverzichtbar für Anwendungen in der Messtechnik, Optik und Grundlagenforschung.

Erfahren Sie mehr über die Vorteile im Vergleich zu anderen Technologien in diesem Artikel: Vorteile von Michelson Interferometern

 

Spezifikationen

 
PICOSCALE Interferometer V2.1
Auflösung und Rauschen Siehe Technisches Datenblatt
Wiederholbarkeit [nm] <1

Genauigkeit1 [m/m]

10-6
Langzeitstabilität2 [nm] 1, siehe Application Note
Max. Datenrate [MHz] 10
Maximale Zielgeschwindigkeit [m/s] 1
Zielreflektivität 4% - 100%
Maximaler Arbeitsabstand [mm] 5000
Absolute Positionsschätzung 1% des Arbeitsabstandes

1 aufgrund der Wellenlängenungenauigkeit

2 Arbeitsabstand 20 mm, Umgebungsbedingungen, Messbandbreite 1,2 kHz