Hochpräzise kontaktlose Messung von Verschiebungen
Für hochpräzise Wegmessungen bietet SmarAct das PICOSCALE Interferometer an.
- 3 parallele Laserinterferometer in einem Gerät für 3D-Messungen
- Messbandbreite von bis zu 2,5 MHz bei Datenabtastung mit 10 MHz
- Messungen auf den meisten Materialien möglich (Kunststoff, Glas, Metall und sogar Wasser)
- Große Auswahl an Sensorköpfen für verschiedene Anwendungen und Umgebungen verfügbar (einschließlich Vakuum, Kryotechnik und strahlungsbeständiger Ausführungen)
- Mit optionalen Modulen zu einem vollständigen Labor-Mess- und Steuergerät erweiterbar
- Vollständige API mit Programmierbeispielen für einfache Integration
- Bewährte Leistungsfähigkeit mit Hunderten zufriedener Kunden
Spezifikationen
PICOSCALE Interferometer V2.1
|
|
|---|---|
| Auflösung und Rauschen | Siehe Technisches Datenblatt |
| Wiederholbarkeit [nm] | <1 |
|
Genauigkeit1 [m/m] |
10-6 |
| Langzeitstabilität2 [nm] | 1, siehe Application Note |
| Max. Datenrate [MHz] | 10 |
| Maximale Zielgeschwindigkeit [m/s] | 1 |
| Zielreflektivität | 4% - 100% |
| Maximaler Arbeitsabstand [mm] | 5000 |
| Absolute Positionsschätzung | 1% des Arbeitsabstandes |
| Echtzeitschnittstellen | BiSS-C, AquadB, serielle Daten |
1 aufgrund der Wellenlängenungenauigkeit
2 Arbeitsabstand 20 mm, Umgebungsbedingungen, Messbandbreite 1,2 kHz
Funktionsprinzip
Alle PICOSCALE Produkte basieren auf einem Michelson-Interferometer. Dieser Aufbau misst Wegänderungen, indem das Licht einer kohärenten Lichtquelle (z. B. eines Lasers) in gleiche Anteile aufgeteilt wird. Ein Teil, der Referenzstrahl, wird an einem stationären Referenzspiegel reflektiert. Der andere Teil, der Messstrahl, wird am bewegten Ziel reflektiert. Beide Strahlen werden wieder zusammengeführt. Auf Grundlage der optischen Weglängendifferenz zwischen den beiden Anteilen ändert sich das Interferenzmuster und ermöglicht so hochpräzise Wegmessungen mit einem Laser und einfachen optischen Komponenten.
Weitere Informationen zum Michelson-Prinzip und zu den anderen Techniken, die wir einsetzen, um die Empfindlichkeit und Genauigkeit der Methode zu erhöhen, finden Sie in unserem Technologiebereich.
Vorteile von Michelson Interferometrie
Michelson-Interferometer zeichnen sich durch ihre außergewöhnliche Präzision und Zuverlässigkeit aus: Sie spalten Lichtstrahlen auf, führen sie wieder zusammen und messen so kleinste Verschiebungen, Vibrationen oder Brechungsänderungen mit Genauigkeiten im Nano- oder Subnanometerbereich. Dank ihrer Vielseitigkeit, dem berührungslosen Messprinzip und der Fähigkeit, auch in anspruchsvollen Umgebungen zuverlässig zu arbeiten, sind sie unverzichtbar für Anwendungen in der Messtechnik, Optik und Grundlagenforschung.
Erfahren Sie mehr über die Vorteile im Vergleich zu anderen Technologien in diesem Artikel: Vorteile von Michelson Interferometern
Präzisionsmesstechnik, gemeinsam entwickelt
Zuverlässige Messtechnik beginnt mit dem Verständnis Ihrer Anwendung. SmarAct arbeitet eng mit Ihrem Team zusammen, um Ihren Aufbau, Ihre Anforderungen und Ihre Randbedingungen zu besprechen — und ein passendes Messkonzept zu definieren.
Mit dem PICOSCALE Interferometer erhalten Sie mehr als eine präzise Messplattform. Sie gewinnen einen vertrauenswürdigen Engineering-Partner, der Sie vom ersten Gespräch bis zur erfolgreichen Integration unterstützt.