平移舞台的直线度测量

本应用笔记演示了如何使用PICOSCALE干涉仪对平移台的直线度进行测量。该系统利用其三通道测量能力、紧凑型传感器头以及实时处理功能，可在不增加测试装置高负载的情况下，实现精确的特性分析。

问题：传统测量翻译舞台直线度的方法通常需要施加高负载，这可能导致舞台性能下降并影响测量精度。

解决方案：PICOSCALE干涉仪提供了一种非侵入式、精准且易于使用的直线度测量方法。其轻量化传感器头和实时处理能力可实现精准表征，无需额外使用重型设备。

实施：

使用定制适配器将一个轻量级1英寸镜片安装在翻译舞台上。
PICOSCALE传感器头组件（包含三个预对准的传感器头）与镜片对齐。
传感器头的信号由PICOSCALE计算系统实时处理，以计算在20毫米舞台移动过程中俯仰和偏航值。

结果：测量结果显示，在20毫米行程范围内，俯仰角约为140微弧度，偏航角为80微弧度。这表明工作台轴承的直线度有限，而PICOSCALE系统在检测和表征此类偏差方面具有有效性。