Closed-Loop-Positionierung mit dem PICOSCALE-Interferometer und einem MCS2

Die Kombination aus PICOSCALE Interferometer, MCS2 und Positionierer von SmarAct ermöglicht es, die Position eines Objekts an einem bestimmten Wirkpunkt mit maximaler Genauigkeit zu regeln.

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PICOSCALE Interferometer for contactless high precision displacement measurements.

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