Der SMARPROBE SP4 bietet 4 Manipulatoren, der SP6 erweitert diese auf 6 und der SP8 unterstützt bis zu 8 Manipulatoren. Jedes System umfasst einen Probenhalter. Alle Manipulatoren verfügen über drei Freiheitsgrade und sind mit optischen Encodern mit Nanometerauflösung für hochpräzise elektrische Messungen ausgestattet. Intelligente Positionierungsroutinen in der speziellen Steuerungssoftware sowie die Möglichkeit, bis zu vier SEM-Probenhalter zu laden, maximieren die Benutzerfreundlichkeit und den Durchsatz für jede Nanoprobing-Aufgabe.
Aufbauend auf dem führenden Know-how von SmarAct im Bereich der piezobasierten Nanopositionierung garantiert die robuste mechanische Konstruktion höchste Stabilität und intuitive Bedienung. Alle SMARPROBE-Systeme sind mit einer Vielzahl von FIBs, SEMs und optischen Mikroskopen kompatibel und somit die ideale Lösung sowohl für die Nachrüstung bestehender Arbeitsabläufe als auch für die Integration in neue Instrumente.
Die SMARPROBE-Probing-Systeme unterstützen elektrische Charakterisierungstechniken von 2-Kontakt-EBIC/EBAC bis hin zu fortschrittlichen 4- und 6-Punkt-Probing-Messungen und sind damit ein unverzichtbares Werkzeug für Halbleiter-Fehleranalyselabore.
Wichtigste Vorteile:
- Halbblinder Betrieb im SEM. Dank aktiver Positionshaltung, geringer thermischer Drift und Point&Click-Funktionalität kann die Positionierung der Messspitzen mit minimaler Elektronenstrahlbelastung durchgeführt werden, wodurch empfindliche Strukturen und Meßspitzen geschont werden.
- Schnelle, flexible Installation. Die SMARPROBE-Plattformen sind mit den meisten SEM-, FIB- und optischen Systemen kompatibel und lassen sich einfach installieren und integrieren – perfekt für Neuanlagen und Nachrüstungen.
- Servicefreundlich mit austauschbaren Antriebseinheiten. Das bewährte EDU-Konzept von SmarAct gewährleistet eine schnelle und problemlose Wartung ohne Neukalibrierung des gesamten Sondierungssystems, wodurch Ausfallzeiten minimiert und eine maximale Systemverfügbarkeit gewährleistet werden.
SMARPROBE Nanoprober System
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SP4 / SP6 / SP8
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| Manipulator with Probe Mount | XYZ closed-loop |
| Number of Manipulators | ≤ 8 |
| Sample Stage | XYZ closed-loop |
| Control | Point & Click, CAD Navigation, Script-based Navigation |
| Probing Area [mm] | 30 x 30 |
| Scan-Range in XYZ1 [µm] | 4 |
| Thermal Drift2 [nm/min] | <1 |
1 Vibration-free travel range. Longer travel ranges are performed with the low-vibration mode, ensuring safe navigation.
2 Active temperature control makes the thermal drift independent of the surrounding conditions.
