电气探测

电学探测在一些半导体应用中对于测试器件的电学特性至关重要。我们为各种环境下的不同结构尺寸级别提供自动探测解决方案--从光学显微镜下大气条件下的粗略探测，到扫描电子显微镜内小至 3 纳米技术节点的全自动探测。
像 SmarAct Metrology 提供的 SMARPROBE 纳米探测仪这样的专用产品可提供完全舒适的全集成解决方案。另一方面，我们的任何探测技术都可以在较小的独立定位系统中实施，并有可能与光学探测或振动测量等其他技术相结合。