Elektrisches Sondieren
Elektrisches Sondieren ist in verschiedenen Halbleiteranwendungen entscheidend, um die elektrischen Eigenschaften von Bauelementen zu testen. Wir bieten automatisierte Sondierlösungen für unterschiedliche Strukturgrößen in verschiedenen Umgebungen – vom groben Sondieren unter atmosphärischen Bedingungen unter einem Lichtmikroskop bis hin zum vollautomatisierten Sondieren bis hinunter zu 3-nm-Halbleiterknoten in einem Rasterelektronenmikroskop (REM).
Spezielle Produkte wie der SMARPROBE-Nanoprober, bereitgestellt von SmarAct Metrology, bieten den vollen Komfort einer vollständig integrierten Lösung. Andererseits kann jede unserer Sondiertechnologien in kleinere eigenständige Positioniersysteme integriert werden, mit der Möglichkeit, sie mit anderen Technologien wie optischem Sondieren oder Vibrometrie zu kombinieren.