晶片定位

晶圆定位是半导体和光电子制造过程中的一个重要步骤,可以准确放置集成电路和 PIC 等元件。精确对位可提高设备性能和功能,为客户提供高质量的产品。[nbsp]

电磁 TRIPOD 是一种在六个自由度内对晶片进行高精度定位和对准的解决方案,具有最高的精确度和灵活性。该系统可在高速(平移:200 毫米/秒;旋转:15°/秒)条件下处理重达 6 公斤的负载,从而实现动态和多功能性能。 
此外,SmarSHIFT 电磁直接驱动平台经久耐用,几乎无需维护。总之,它们能够在制造步骤中实现晶圆的精确定位和对准,确保半导体器件的高质量和可靠性。

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