Wafer-Positionierung
Die Wafer-Positionierung ist ein wesentlicher Schritt in der Halbleiterfertigung und Photonik und ermöglicht die präzise Platzierung von Komponenten wie integrierten Schaltkreisen und PICs. Eine präzise Ausrichtung führt zu verbesserter Bauelementleistung und Funktionalität und damit zu hochwertigen Produkten für Kunden.
Der elektromagnetische TRIPOD ist eine Lösung, die hochpräzise Positionierung und Ausrichtung von Wafern in sechs Freiheitsgraden mit maximaler Genauigkeit und Flexibilität bietet. Das System ist für die Handhabung schwerer Lasten bis 6 kg bei hohen Geschwindigkeiten ausgelegt (translatorisch: 200 mm/s; rotatorisch: 15°/s) und ermöglicht eine dynamische und vielseitige Leistung.
Darüber hinaus sind die elektromagnetischen Direktantriebs-Positionierer SmarSHIFT langlebig und praktisch wartungsfrei. Insgesamt ermöglichen sie die präzise Positionierung und Ausrichtung von Wafern während der Fertigungsschritte und gewährleisten hochwertige und zuverlässige Halbleiterbauelemente.
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