德国开姆尼茨 3D-MICROMAC 股份公司供稿

3D-Micromac 的 microPREP™ PRO 是一种激光烧蚀系统，是对聚焦离子束微加工等现有样品制备方法的补充。microPREP™ PRO 可用于金属、半导体、陶瓷和复合材料的快速大批量样品制备，以进行微结构诊断和失效分析。microPREP™ PRO 的样品制备平台由 SmarAct 与 3D-Micromac AG 合作开发，可确保材料在激光束下正确对准。
高度紧凑的平台具有两个平移自由度和一个旋转自由度，以 SLC-1780 线性平台和 SR-4011 旋转平台为基础。集成的位置编码器保证了线性轴 100nm 和旋转轴 500μ° 的闭环分辨率。