Für die 3D-MICROMAC AG, Chemnitz, Deutschland

Das microPREP™ PRO von 3D-Micromac ist ein Laserablationssystem, das bestehende Ansätze der Probenpräparation wie die Mikrobearbeitung mit fokussiertem Ionenstrahl (FIB) ergänzt. Es bietet bis zu 10.000-fach höhere Ablationsraten und damit geringere Gesamtbetriebskosten im Vergleich zu Verfahren mit fokussiertem Ionenstrahl.
microPREP™ PRO wird für die schnelle Probenpräparation großer Stückzahlen von Metallen, Halbleitern, Keramiken und Verbundwerkstoffen für die Mikrostrukturdiagnostik und Fehleranalyse eingesetzt. Der Probenpräparations-Positionierer des microPREP™ PRO wurde von SmarAct in Zusammenarbeit mit der 3D-Micromac AG entwickelt und stellt die korrekte Ausrichtung des Materials unter dem Laserstrahl sicher.
Der hochkompakte Positionierer mit zwei translatorischen und einem rotatorischen Freiheitsgrad basiert auf SLC-1780-Linearpositionierern und einem SR-4011-Rotationspositionierer. Die integrierten Positionsencoder gewährleisten eine Closed-Loop-Auflösung von 100 nm für die Linearachsen und 500 µ° für die Rotationsachse.