XYZ-SLC23:30

基于三个SLC-1730-W阶段，采用U形底座以提升机械强度。该系统可支持最大1.5 N的负载在21毫米的行程范围内进行定位。

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下载规格表	机械参数
机械参数
自由度	3
使用的位移台	SLC-1730-W
行程 [mm]	21 (X); 21 (Y); 21 (Z)
负载 [N]	1.5
	闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm]	1 (S)
	Breadboard Mount
Breadboard Mount
尺寸 [mm]	65 x 65 x 58 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	42 (31.5 ... 52.5)
	Direct Mount
Direct Mount
尺寸 [mm]	38 x 32 x 53 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	37 (26.5 ... 47.5)