技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 4 |
| 使用的位移台 | 3 x CLS-3232; 1 x SR-3211 |
| 行程 [mm] | 21 (X); 21 (Y); 21 (Z) |
| 行程 [°] | unlimited |
| 负载 [N] | 3.3 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 79 x 65 x 70 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 43 (32.5 … 53.5) |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 62.5 x 45.5 x 65 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 38 (27.5 … 48.5) |
咨询产品
您对XYZR-XYZ CLS32:32 R SRP32:11有任何疑问，或需要报价吗？请填写表单或直接联系我们。
有疑问？
联系我们！
联系我们！