4自由度

基于三个SLC-1730线性舞台（行程21毫米）和一个SR-2013旋转舞台（连续旋转），该定位系统能够处理最大1.3牛顿的负载。

基于三个CLS-3232线性位移台（行程21毫米）和一个SR-3211旋转位移台（支持连续旋转），并兼容SmarAct模块化系统，该系统可处理最大3.3牛顿的负载。