技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 4 |
| 使用的位移台 | 3 x SLC-1730; 1 x SR-2013 |
| 行程 [mm] | 21 (X); 21 (Y); 21 (Z) |
| 行程 [°] | unlimited |
| 负载 [N] | 1.3 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 68 x 65 x 57 |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 41.5 (31 ... 52) |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 50 x 30 x 52 |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 36.5 (26 ... 47) |
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Step-file_XYZR-XYZ SLC17:30 Z SRP20:13
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