SMARPOD CLS-32 with Exchangeable Drive-Units

SMARPOD CLS-32 是一款中型系统,配备了可更换驱动单元,因此非常适合高可用性应用。

SMARPOD CLS-32 的主要特点是可更换驱动单元 (EDU),可确保轻松快速地更换压电驱动装置,而无需完全拆卸定位系统。[作为选项,底板可配备安装柱,用于在 SMARPOD 移动平台附近放置工具、传感器或其他组件。

旋转行程的数值是以顶板表面的支点为基准的。

对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。

重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

技术参数

下载规格表
下载规格表 机械参数
机械参数
行程 [mm] 20 (X); 20 (Y); 11 (Z)
行程 [°] 22 (Θx); 25 (Θy); 38 (Θz)
最大法向力 [N] 5
Max. Horizontal Force [N] 2.5
尺寸 [mm] Ø 123.7
Height of Platform above Ground [mm] 53
重量 [g] 520
  闭环
闭环
传感器类型 SC
Smallest Increment [nm] 1
Smallest Increment [µ°] 3
单向重复精度 MCS2 [nm] ± 50
  选项
选项
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
非磁性选项 Yes (-NM)

应用说明

  • Motion System Load Capacity
    Jan 06, 2023

下载

  • Technical-Drawing_SMARPOD CLS-32
    Feb 15, 2023
  • Step-file_SMARPOD CLS-32
    Dec 22, 2021
  • Load Capacity Datasheet SmarPod CLS-32
    Jul 17, 2024

附件

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