CLS 系列直线运动平台专为科学和工业领域的高可用性应用而设计。它们配备了 SmarActs 可更换驱动单元,确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置,从而使维修工作变得简单易行。更换驱动单元时,无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。当模块化和配置简便成为最高要求时,它们就是完美的选择。
CLS-92152 - 带EDU的线性位移台
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| 行程 [mm] | 103 |
| 锁止力 [N] | ≥ 3.5 |
| 最大法向力 [N] | 20 |
| 尺寸 [mm] | 152 x 92 x 17 |
| 重量 [g] | 591 |
| Open-loop | |
| Open-loop | |
| Velocity [mm/s] | > 20 |
| 开环分辨率 MCS2 [nm] | < 1 |
| 开环分辨率 (H)CU [nm] | < 50 |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S), 4 (L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复性 MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
| 单向重复性 (H)CU [nm] | ± 200 (L) |
| Options | |
| Options | |
| 材料选项 | Aluminum base as standard; Titanium base (-TI) |
| 性能选项 | Higher blocking force (-D): +1.5 N |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Yes |
附件
有疑问?
联系我们!
联系我们!