PLF3232-x.60

PLF3232-x.60

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势，实现高达 100 μm 的高精度定位任务。

PLF3232-x.60 的 X 方向扫描范围为 60 μm。其重量仅为 30 克，体积仅为 32 x 32 x 12 毫米，非常轻巧。

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技术参数

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下载规格表 机械参数
机械参数
Stiffness [N/μm] 0,5
扫描范围 [µm] > 60
最大法向力 [N] 5.0
尺寸 [mm] 32 x 32 x 12
重量 [g] 30
  材料
材料
基材 Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  开环
开环
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1
  闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm] MCS2: 1 (S)
  选项
选项
真空选项 HV (10⁻⁶ mbar)
非磁性选项 Yes (- NM)

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  • PLF3232-x.60
    Nov 02, 2022
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  • Technical-Drawing_PLF3232-x.60
    Jul 17, 2024
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