PLF3232-x.60

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezobetriebener mechanischer Biegungen zur Realisierung hochpräziser Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm.

Der PLF3232-x.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X-Richtung. Mit 30 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 12 mm auch recht kompakt.

  • PLF3232-x.60
    Nov 02, 2022
  • Technical-Drawing_PLF3232-x.60
    Jul 17, 2024

Spezifikationen

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Mechanical
Scantilt [µrad] ± 3.5
Stiffness [N/μm] 0,5
Scan Range [µm] > 60
Max. Normal Force [N] 5.0
Dimensions [mm] 32 x 32 x 12
Weight [g] 30
  Material
Material
Base Material Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  Open-loop
Open-loop
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1 (S)
  Options
Options
Vacuum Options HV (10⁻⁶ mbar)
Non-Magnetic Option Yes (- NM)

Zubehör

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