Smarpod für hochmoderne Pick-and-Place-Aktivitäten

Die erfolgreiche Weiterentwicklung optischer Prozesse und Technologien erfordert hochpräzise Positionierungssysteme, insbesondere im Bereich der Halbleiterforschung und -industrie. Aktuelle und zukünftige technologische Herausforderungen liegen in Bereichen wie photonisch integrierten Schaltkreisen, die den sichtbaren bis zum nahinfraroten Spektralbereich abdecken, der Integration mikrometergroßer LEDs auf CMOS-Elektronik sowie der Integration einzelner Photonenemitter für Quantentechnologien.

Das am IOP entwickelte System adressiert genau diese Herausforderungen und ermöglicht die hybride und heterogene Integration einer vielseitigen Bibliothek von Halbleiterlegierungen mit Nanopräzision auf einer einzigen Aufnahmeplattform. Das hybride linear/parallele Kinematikparadigma des implementierten SMARPOD von SmarAct ermöglicht nanoskalige Präzisionsbewegung mit sechs Freiheitsgraden, um die Manipulation und Integration von Halbleiterbauelementen zu realisieren, indem diese als Membranen vom Nanometer- bis zum Millimetermaßstab gedruckt werden.