Smarpod 用于最先进的拾放活动

光学工艺和技术的成功发展需要高精度的定位系统,尤其是在半导体研究和工业领域。当前和未来的技术挑战在于光子集成电路(覆盖可见光到近红外光谱区域)、CMOS 电子器件上微米级 LED 集成以及量子技术中单光子发射器的集成等领域。

IOP 开发的系统正是为了应对这些挑战,在单个接收平台上以纳米精度实现多种半导体合金库的混合和异质集成。SmarAct 实现的 SMARPOD 的线性/平行混合运动模式可实现纳米级精密运动,具有六个自由度,通过将半导体器件打印成纳米级到毫米级的薄膜,实现半导体器件的操纵和集成。

SMARPOD P-CLL-CLS

大型SMARPOD 采用了 CLL 系列的三个滑架,在 X 方向上的移动范围极大,达到 330 毫米。
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