SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen zur Realisierung hochpräziser Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm.
Der PLF3232-z.60 bietet einen Scanbereich von über 60 μm in Z-Richtung. Mit 30 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 15 mm auch recht kompakt.
| PDF-Download | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| Scantilt [µrad] | ± 50 |
| Stiffness [N/μm] | 0,3 |
| Scan Range [µm] | > 60 |
| Max. Normal Force [N] | 5.0 |
| Dimensions [mm] | 32 x 32 x 15 |
| Weight [g] | 30 |
| Material | |
| Material | |
| Base Material | Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al) |
| Open-loop | |
| Open-loop | |
| Open-Loop Resolution MCS2 [nm] | MCS2: <1 |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| Sensor Resolution MCS2 [nm] | MCS2: <1 (S) |
| Options | |
| Options | |
| Vacuum Options | HV (10⁻⁶mbar) |
| Non-Magnetic Option | Yes (- NM) |
