SOM-12090

Mit 226 mm Länge, 176 mm Breite und 30 mm Höhe ist die SOM-12090 der zweitgrößte Mikroskopietisch von SmarAct. Die SOM-12090 bietet einen Verfahrbereich von 83 mm auf der X-Achse und 63 mm auf der Y-Achse. Sie basiert auf den kompakten SLC-Linearpositionierern von SmarAct, die Präzision im Nanometerbereich und höchste Wiederholgenauigkeit im geschlossenen Regelkreis bieten.

Eine Breadboard-kompatible Grundplatte und Adapter für Standardeinsätze gewährleisten die Kompatibilität mit gängigen Herstellern. Abdeckplatten und die Positionierer selbst sind in hohem Maße an Ihre Anforderungen anpassbar.

  • Step-file_SOM-12090
    Mai 12, 2021

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [mm] 83 (X); 63 (Y)
Blocking Force [N] ≥ 5.5
Max. Normal Force [N] 15
Dimensions [mm] 226 x 176 x 30
Weight [g] 1500
  Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s] > 8
Open-Loop Resolution [nm] <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ±120 (S), ±240 (L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 50 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ±1000 (L)
  Options
Options
Material Options Aluminum base as standard; Black anodized (-BK)
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
Non-Magnetic Option Upon request

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