SOM-MS-505020

Die SOM-MS-505020 ist der kleinste Mikroskopietisch von SmarAct, der eine vertikale Verfahrrichtung bieten. Der Verfahrbereich auf der X- und Y-Achse beträgt 31 mm und auf der Z-Achse 12 mm. Die Abmessungen betragen 113 mm in der Länge, 113 mm in der Breite und 35 mm in der Höhe. Da die SOM-MS-505020 auf den Linearpositionierern der SLC-Serie von SmarAct basiert, bietet sie höchste Wiederholgenauigkeit im geschlossenen Regelkreis und eine Auflösung im Nanometerbereich.

Die Grundplatte des Positionierers ist Breadboard-kompatibel. Sowohl die Deckelplatten als auch die Positionierer selbst sind in hohem Maße anpassbar.

  • Technical-Drawing_SOM-MS-505020
    Jul 21, 2023
  • Step-file_SOM-505020
    Mai 23, 2023

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [mm] 31 (X); 31 (Y); 12 (Z)
Max. Lift Force [N] 2
Dimensions [mm] 113 x 113 x 35
Weight [g] 388
  Open-loop
Open-loop
Open-Loop Resolution [nm] < 1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Velocity [mm/s] > 8
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ±50 (S), ± 100 (L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 100 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ±1000 (L)
  Options
Options
Material Options Aluminum base as standard; Black anodized (-BK)
Vacuum Options Upon request
Non-Magnetic Option Upon request

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