SOM-505020

Die SOM-505020 ist der kleinste Mikroskopietisch von SmarAct, der eine vertikale Verfahrrichtung bieten. Der Verfahrbereich auf der X- und Y-Achse beträgt 31 mm und auf der Z-Achse 12 mm. Die Abmessungen betragen 112 mm in der Länge, 100 mm in der Breite und 3,5 mm in der Höhe. Da die SOM-505020 auf den Linearpositionierern der SLC-Serie von SmarAct basiert, bietet sie höchste Wiederholgenauigkeit im geschlossenen Regelkreis und eine Auflösung im Nanometerbereich.

Die Kompatibilität mit gängigen Herstellern wird durch Adapter für Standardeinsätze gewährleistet. Die Grundplatte des Positionierers ist breabboard-kompatibel. Sowohl die Deckplatten als auch die Positionierer selbst sind in hohem Maße anpassbar.

  • Step-file_SOM-505020
    Mai 12, 2021

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [mm] 31 (X); 31 (Y); 12 (Z)
Blocking Force [N] ≥ 3.5/ ≥ 5.5
Max. Normal Force [N] 15
Dimensions [mm] 112 x 100 x 33.5
Weight [g] 410
  Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s] > 8
Open-Loop Resolution [nm] < 1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ±50 (S), ± 100 (L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 50 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ±1000 (L)
  Options
Options
Material Options Aluminum base as standard; Black anodized (-BK)
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
Non-Magnetic Option Upon request

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