SOM-808030

Der SOM-808030 ist der größere der Mikroskopietische von SmarAct, der eine vertikale Verfahrrichtung bietet. Der Verfahrbereich auf der X- und Y-Achse beträgt 51 mm und auf der Z-Achse 16 mm. Die Abmessungen der SOM-808030 betragen 138 mm in Länge und Breite und 56 mm in der Höhe. Da die SOM-808030 auf den Linearpositionierern der SLC-Serie von SmarAct basiert, bietet sie höchste Wiederholgenauigkeit im geschlossenen Regelkreis und eine Auflösung im Nanometerbereich.

Die Kompatibilität mit gängigen Herstellern wird durch Adapter für Standardeinsätze gewährleistet. Die Grundplatte ist breabboard-kompatibel. Deckplatten sowie die SOM-808030 selbst sind in hohem Maße anpassbar.

  • Step-file_SOM-808030
    Mai 12, 2021

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [mm] 51 (X); 51 (Y); 19 (Z)
Blocking Force [N] ≥ 3.5/ ≥ 5.5
Dimensions [mm] 138x 138 x 56
Weight [g] 700
  Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s] > 8
Open-Loop Resolution [nm] <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ±80 (S), ±160 (L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 50 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ±1000 (L)
  Options
Options
Material Options Aluminum base as standard; Black anodized (-BK)
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar)
Non-Magnetic Option Upon request

Zubehör

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