Zwei einzeln bewegliche Lamellen, deren Kanten parallel zueinander ausgerichtet sind, ermöglichen es, die Schlitzbreite in horizontaler Richtung zwischen 0 und 20 mm einzustellen und gleichzeitig die Position der Schlitze innerhalb des 20 mm x 20 mm großen Fensters des Gehäuses zu bestimmen. Positionssensoren stellen die Positionierung der einzelnen Blätter im geschlossenen Regelkreis sicher, um die Größe und die Position der Öffnung innerhalb des 20 x 20 mm großen Fensters des Gehäuses genau zu bestimmen. Für den Einsatz in Hoch- und Ultrahochvakuumumgebungen sind Spezialversionen erhältlich. Kundenspezifische Ausführungen sind ebenfalls erhältlich. Um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen, können Sie uns gern jederzeit kontaktieren.
SMS-20-0 - Rectangular Aperture
Spezifikationen
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PDF-Download | Mechanical |
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Mechanical | |
Dimensions [mm] | 75 x 75 x 20 |
Open-loop | |
Open-loop | |
Velocity [mm/s] | >20 |
Open-Loop Resolution [nm] | < 1 |
Closed-Loop | |
Closed-Loop | |
Sensor Resolution MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
Sensor Resolution (H)CU [nm] | 100 (L) |
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] | ± 300 (L) |
Options | |
Options | |
Material Options | Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
Vacuum Options | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
Non-Magnetic Option | Yes (-NM) |
Zubehör

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