SMS-20-0 - Rectangular Aperture

Das SMS-20-0 besteht aus einem motorisierten Einzelspalt. Die interne Konstruktion ermöglicht eine präzise Positionierung der Spaltkanten und der Spaltöffnung innerhalb eines Arbeitsbereichs von 20 mm.

Zwei einzeln bewegliche Lamellen, deren Kanten parallel zueinander ausgerichtet sind, ermöglichen es, die Schlitzbreite in horizontaler Richtung zwischen 0 und 20 mm einzustellen und gleichzeitig die Position der Schlitze innerhalb des 20 mm x 20 mm großen Fensters des Gehäuses zu bestimmen. Positionssensoren stellen die Positionierung der einzelnen Blätter im geschlossenen Regelkreis sicher, um die Größe und die Position der Öffnung innerhalb des 20 x 20 mm großen Fensters des Gehäuses genau zu bestimmen. Für den Einsatz in Hoch- und Ultrahochvakuumumgebungen sind Spezialversionen erhältlich. Kundenspezifische Ausführungen sind ebenfalls erhältlich. Um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen, können Sie uns gern jederzeit kontaktieren.

  • Technical-Drawing_SMS-20-0
    Feb 16, 2023
  • Step-file_SMS-20-0
    Jul 05, 2019

Spezifikationen

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Mechanical
Dimensions [mm] 75 x 75 x 20
  Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s] >20
Open-Loop Resolution [nm] < 1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] ± 40 (S,L)
Sensor Resolution (H)CU [nm] 100 (L)
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] ± 300 (L)
  Options
Options
Material Options Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK)
Vacuum Options HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
Non-Magnetic Option Yes (-NM)

Zubehör

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