SMS-20-0 - 矩形孔径

SMS-20-0 由电动单缝组成。其内部设计可在 20 毫米的工作范围内精确定位狭缝边缘和狭缝开口。

两个可单独移动的叶片,其边缘相互平行,可在水平方向上将缝隙宽度设定在 0 至 20 毫米之间,同时可在 20 毫米乘 20 毫米的外壳窗口内确定缝隙位置。位置传感器可对每个叶片进行闭环定位,以精确确定外壳 20 x 20 毫米窗口内的孔径大小和位置。可提供用于高真空和超高真空环境的专用型号。还可提供定制版本。如需讨论您的具体要求,请随时与我们联系。

技术参数

下载规格表
下载规格表 机械参数
机械参数
尺寸 [mm] 75 x 75 x 20
  开环
开环
Velocity [mm/s] >20
开环分辨率 [nm] < 1
  闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm] 1 (S) 4 (L)
单向重复精度 MCS2 [nm] ± 40 (S,L)
传感器分辨率 (H)CU [nm] 100 (L)
单向重复精度 (H)CU [nm] ± 300 (L)
  选项
选项
材料选项 Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK)
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
非磁性选项 Yes (-NM)

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  • Technical-Drawing_SMS-20-0
    Feb 16, 2023
  • Step-file_SMS-20-0
    Jul 05, 2019

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