技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 尺寸 [mm] | 75 x 75 x 20 |
| 开环 | |
| 开环 | |
| Velocity [mm/s] | >20 |
| 开环分辨率 [nm] | < 1 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复精度 (H)CU [nm] | ± 300 (L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Yes (-NM) |
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