Vier unabhängig voneinander bewegliche Lamellen, die in zwei parallelen Paaren angeordnet und rechtwinklig zueinander ausgerichtet sind. Der Aufbau ermöglicht es, die Größe der Blendenöffnung unabhängig in Breite und Höhe mit einer Seitenlänge von 0 bis 20 mm zu definieren. Positionssensoren ermöglichen die Positionierung der einzelnen Lamellen im geschlossenen Regelkreis, um die Größe und Position der Öffnung innerhalb des 20 x 20 mm großen Fensters des Gehäuses genau zu bestimmen. Für den Einsatz in Hoch- und Ultrahochvakuumumgebungen sind Spezialversionen erhältlich. Kundenspezifische Ausführungen sind ebenfalls erhältlich. Um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen, kontaktieren Sie uns gerne jederzeit.
SMS-20-20 - Rectangular Aperture
Spezifikationen
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PDF-Download | Mechanical |
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Mechanical | |
Dimensions [mm] | 85 x 85 x 21 |
Weight [g] | 275 |
Open-loop | |
Open-loop | |
Velocity [mm/s] | > 20 |
Open-Loop Resolution [nm] | < 1 |
Closed-Loop | |
Closed-Loop | |
Sensor Resolution MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
Sensor Resolution (H)CU [nm] | 100 (L) |
Uni-Directional Repeatability (H)CU [nm] | ± 300 (L) |
Options | |
Options | |
Material Options | Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
Vacuum Options | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
Non-Magnetic Option | Yes (-NM) |
Zubehör
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