四个可独立移动的叶片平行排列成两对，彼此呈矩形。该装置可独立确定开孔的宽度和高度，边长从 0 毫米到 20 毫米不等。位置传感器可对每个叶片进行闭环定位，从而在 20 x 20 毫米的外壳窗口内精确确定开孔的大小和位置。可提供用于高真空和超高真空环境的专用型号。还可提供定制版本。请随时与我们联系，讨论您的具体要求。
SMS-20-20 - 矩形孔径
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 尺寸 [mm] | 85 x 85 x 21 |
| 重量 [g] | 275 |
| 开环 | |
| 开环 | |
| Velocity [mm/s] | > 20 |
| 开环分辨率 [nm] | < 1 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复精度 (H)CU [nm] | ± 300 (L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Steel base (-ST); Titanium base (-TI); Black anodized (-BK) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Yes (-NM) |
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