Die PICOSCALE-Sensorköpfe verbinden Picometer-Präzision mit maximaler Flexibilität. Das intuitive SmarAlign-Fenster erleichtert die Ausrichtung deutlich, während differenzielle Messungen und die umfangreichen Strahlteiler-Optionen selbst in komplexen Messaufbauten für stabile und hochgenaue Ergebnisse sorgen.

SmarAlign Fenster

Das SmarAlign-Fenster ist eine innovative Funktion des PICOSCALE Interferometers, die entwickelt wurde, um die Ausrichtung des Sensorkopfs deutlich zu vereinfachen und zu beschleunigen.
Es nutzt den ungenutzten Ausgang des Strahlteilers und stellt das Interferenzsignal in Echtzeit dar. Auf einer grob geschliffenen Seite werden die Reflexion des Referenz- und des Zielstrahls angezeigt.
Eine optimale Ausrichtung erkennt man sofort, wenn beides Teilstrahlen deckungsgleich überlagert sind.

Mit SmarAlign wird die Einrichtung des Systems intuitiv, schnell und präzise – ganz ohne Spekulationen und mit minimalem Aufwand.
Erleben Sie hochpräzise Wegmessungen mit maximaler Effizienz und Benutzerfreundlichkeit.

Alignment not good; two spots are visible Alignment good; only one spot visible


 

Differentielle Messungen

Ein großer Vorteil von Laserinterferometern nach dem Michelson-Prinzip ist die Möglichkeit, direkte differentielle Messungen durchzuführen.
Durch die Verwendung eines Sensorkopfs ohne Referenzspiegel kann der Benutzer seinen eigenen Referenzpunkt frei wählen. Auf diese Weise sind sowohl der Referenz- als auch der Messstrahl denselben Umwelteinflüssen ausgesetzt, wodurch diese Einflüsse vollständig unterdrückt werden.
Darüber hinaus werden gemeinsame Schwingungen von Referenz- und Messpunkt intrinsisch herausgefiltert.

Das PICOSCALE Laserinterferometer bietet diese Optionen für robuste und hochpräzise Wegmessungen – ganz ohne nachträgliche Datenverarbeitung.

Neben der Möglichkeit, externe Referenzen zu nutzen, lassen sich PICOSCALE-Sensorköpfe auf verschiedene Weise konfigurieren, um sich optimal in jedes Mess-Setup zu integrieren.

Michelson Interferometer Konfiguration

In der Standardkonfiguration eines PICOSCALE Sensorkopfes ist der Referenzspiegel auf eine der Seitenflächen des Strahlteilerwürfels aufgebracht.

Alternativ kann der Strahlteiler auf die Vorderseite des Strahlteilerwürfels aufgebracht werden. Dies kann bei bestimmten räumlichen Einschränkungen von Vorteil sein, da der Sensorkopf so „um die Ecke schauen“ kann.

Eine weitere Variante der PICOSCALE Sensorköpfe verfügt über keinen Referenzspiegel. Dies ist einzigartig für Michelson Interferometer und ermöglicht die Durchführung von differentiellen Messungen an zwei Zielen mit mehreren Vorteilen.


 

Vorteile von Michelson Interferometern

Michelson-Interferometer bieten außergewöhnliche Präzision und Zuverlässigkeit, indem sie Licht aufteilen und wieder zusammenführen, um kleinste Verschiebungen, Schwingungen und Brechungsindex-Änderungen mit einer Genauigkeit im Nanometer- oder sub-Nanometerbereich zu messen. Ihre Vielseitigkeit, ihr berührungsloser Betrieb und ihre Leistungsfähigkeit in anspruchsvollen Umgebungen wie UHV oder Kryotemperaturen machen sie unverzichtbar für Anwendungen in der Messtechnik, Optik und der Forschung.