XYZ-SLC24:45

Basierend auf drei SLC-2445 Positionierern mit einem Verfahrweg von je 29 mm, ist das System in der Lage, Nutzlasten von bis zu 1,5 N zu bewältigen.

  • Step-file_XYZ-SLC24:45
    Dez 11, 2019
  • Technical-Drawing_XYZ-SLC24:45
    Dez 11, 2019

Spezifikationen

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Mechanical
Degrees of Freedom 3
Stages used SLC-2445
Travel [mm] 29 (X); 29 (Y); 29 (Z)
Payload [N] 1.5
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1 (S)
  Breadboard Mount
Breadboard Mount
Dimensions [mm] 65 x 65 x 81 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm] 58.5 (44 ... 73)
  Direct Mount
Direct Mount
Dimensions [mm] 52 x 45 x 76 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm] 53.5 (49 ... 78)

Zubehör

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