XYZ-SLC24:45

Basierend auf drei SLC-2445 Positionierern mit einem Verfahrweg von je 29 mm, ist das System in der Lage, Nutzlasten von bis zu 1,5 N zu bewältigen.

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Mechanical
Degrees of Freedom	3
Stages used	SLC-2445
Travel [mm]	29 (X); 29 (Y); 29 (Z)
Payload [N]	1.5
	Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm]	1 (S)
	Breadboard Mount
Breadboard Mount
Dimensions [mm]	65 x 65 x 81 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	58.5 (44 ... 73)
	Direct Mount
Direct Mount
Dimensions [mm]	52 x 45 x 76 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	53.5 (49 ... 78)