技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 3 |
| 使用的位移台 | SLC-2445 |
| 行程 [mm] | 29 (X); 29 (Y); 29 (Z) |
| 负载 [N] | 1.5 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 65 x 65 x 81 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 58.5 (44 ... 73) |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 52 x 45 x 76 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 53.5 (49 ... 78) |
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