XYZ-SLC24:45

该系统基于三个SLC-2445阶段,每个阶段的行程范围为29毫米。该系统能够处理最大1.5牛顿的负载。

  • Step-file_XYZ-SLC24:45
    Dec 11, 2019
  • Technical-Drawing_XYZ-SLC24:45
    Dec 11, 2019

技术参数

下载规格表
下载规格表 Mechanical
Mechanical
自由度 3
使用的位移台 SLC-2445
行程 [mm] 29 (X); 29 (Y); 29 (Z)
负载 [N] 1.5
  Closed-Loop
Closed-Loop
传感器分辨率 MCS2 [nm] 1 (S)
  Breadboard Mount
Breadboard Mount
尺寸 [mm] 65 x 65 x 81 (L x W x H)
垂直直线台中心离地高度 [mm] 58.5 (44 ... 73)
  Direct Mount
Direct Mount
尺寸 [mm] 52 x 45 x 76 (L x W x H)
垂直直线台中心离地高度 [mm] 53.5 (49 ... 78)

附件

有疑问?
联系我们!

SmarAct

技术销售