XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30

Basierend auf zwei SLC-1740 Positionierern für X und Y mit 26 mm Verfahrweg und einem SLC-1730 mit 21 mm Verfahrweg für Z, kann das System Nutzlasten von bis zu 1,5 N handhaben.

Step-file_XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30

Dez 11, 2019

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Spezifikationen

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Mechanical
Degrees of Freedom	3
Stages used	SLC-1740 (X, Y); SLC-1730 (Z)
Travel [mm]	26 (X); 26 (Y); 21 (Z)
Payload [N]	1.5
	Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm]	1 (S)
	Breadboard Mount
Breadboard Mount
Dimensions [mm]	65 x 65 x 62 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	47 (36.5 ... 57.5)
	Direct Mount
Direct Mount
Dimensions [mm]	42 x 40 x 57 (L x W x H)
Center of vert. Stage above Ground [mm]	42 (31.5 ... 52.5)