技术参数
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| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 3 |
| 使用的位移台 | SLC-1740 (X, Y); SLC-1730 (Z) |
| 行程 [mm] | 26 (X); 26 (Y); 21 (Z) |
| 负载 [N] | 1.5 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) |
| Breadboard Mount | |
| Breadboard Mount | |
| 尺寸 [mm] | 65 x 65 x 62 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 47 (36.5 ... 57.5) |
| Direct Mount | |
| Direct Mount | |
| 尺寸 [mm] | 42 x 40 x 57 (L x W x H) |
| Center of vert. Stage above Ground [mm] | 42 (31.5 ... 52.5) |
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Step-file_XYZ-XY SLC17:40 Z SLC17:30
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