XYZR-XYZ SLC17:30 R SRP20:13

Das Positioniersystem basiert auf drei Linearpositionierern SLC-1730 mit 21 mm Verfahrweg und einem Positionierer SR-2013 mit kontinuierlicher Drehung und ist in der Lage, Nutzlasten von bis zu 1,3 N zu handhaben.

Step-file_XYZR-XYZ SLC17:30 Z SRP20:13

Jul 01, 2019

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Spezifikationen

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Mechanical
Degrees of Freedom	4
Stages used	3 x SLC-1730; 1 x SR-2013
Travel [mm]	21 (X); 21 (Y); 21 (Z)
Travel [°]	unlimited
Payload [N]	1.3
	Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm]	1 (S)
	Breadboard Mount
Breadboard Mount
Dimensions [mm]	68 x 65 x 57
Center of vert. Stage above Ground [mm]	41.5 (31 ... 52)
	Direct Mount
Direct Mount
Dimensions [mm]	50 x 30 x 52
Center of vert. Stage above Ground [mm]	36.5 (26 ... 47)