MR-30028 – Präzisions-Wafer-Rotationstisch

Der SMARSHIFT MR-30028 ist ein großflächiger Rotator mit einem Durchmesser von 300 mm und einer großen Apertur von 110 mm. Er zeichnet sich durch hohe Geschwindigkeit, hohes Drehmoment und lange Lebensdauer bei kompromissloser Präzision aus. Seine kompakten Abmaße und sein niedriges Profil vereinfachen die Integration in bestehende Systeme und lassen genügend Platz für Ihre Anwendung.

 

Anwendungen

Der MR-30028 Rotator wurde speziell als Wafer-Rotationstisch entwickelt. Als Plattform für bis zu 300 mm (12") große Wafer kann er für metrologische Verfahren (wie Reflektometrie, Reflexionsspektroskopie, spektroskopische Ellipsometrie (VASE) und andere) oder für die Fertigung (für Wafer-Bonding, EUV-Lithografie und andere) eingesetzt werden. Weitere Anwendungsbereiche sind die optische Ausrichtung von schwereren Objekten in der Photonik und der Astronomie.

  • Step-file_MR-30028
    Feb 22, 2024
  • Technical-drawing_MR-30028
    Feb 22, 2024

Spezifikationen

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Mechanical
Travel [°]
Max. Normal Force [N] 1000
Dimensions [mm] ⌀ 300 × 28
Weight [g] 5000
Aperture [mm] 110
  Material
Material
Base Material Aluminum, black anodized
  Open-loop
Open-loop
Angular Velocity [°/s] 540
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Types S
Sensor Resolution [µ°] <1
Angular Velocity [°/s] 540

Zubehör

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Dr. Mike Stummvoll

SmarShift Technical Sales