MLL-400 – Präzisions-Kreuztisch

Der SMARSHIFT MLL-400 ist ein elektromagnetisch direkt angetriebener XY-Tisch mit zwei Verfahrmöglichkeiten. Die erste Option bietet einen großen Verfahrbereich von bis zu 300 mm. Die zweite bietet einen reduzierten Verfahrbereich von 200 mm für höhere Präzision. Beide Versionen können auf ein optisches Standard-Breadboard mit 25 mm × 25 mm Raster montiert werden.
Der MLL-400 kann als Basis für einen elektromagnetischen TRIPOD verwendet werden.

 

Anwendungen

Der MLL-400 wurde für anspruchsvolle Aufgaben in der industriellen Fertigung entwickelt, darunter Mikromontage, Pick-and-Place-Prozesse und die Ausrichtung von Werkstücken. Zu den weiteren Anwendungsbereichen zählen die hochpräzise additive Fertigung, Waferpositionierung sowie Laserbearbeitung.

  • Technical-Drawing_MLL400
    Apr 24, 2022
  • Step-file_MLL400
    Apr 24, 2022

Spezifikationen

PDF-Download
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Mechanical
Degrees of Freedom 2
Travel [mm] 200 | 300
Continuous Force [N] 6
Peak Force [N] 18
Max. Normal Force [N] 50
Moving Mass [g] 12000 (lower axis); 6000 (upper axis)
Dimensions [mm] 400 × 400 × 70
Weight [g] 21000
  Material
Material
Base Material Aluminum, black anodized
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Types SC
Max. Acceleration (no load) [m/s²] 1 (lower axis); 2.5 (upper axis)
In-Position Stability [nm] ±5
Sensor Resolution MCS2 [nm] 1
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] 150 | 100

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