MLL-400 – Präzisions-Kreuztisch
Der SMARSHIFT MLL-400 ist ein elektromagnetisch direkt angetriebener XY-Tisch mit zwei Verfahrmöglichkeiten. Die erste Option bietet einen großen Verfahrbereich von bis zu 300 mm. Die zweite bietet einen reduzierten Verfahrbereich von 200 mm für höhere Präzision. Beide Versionen können auf ein optisches Standard-Breadboard mit 25 mm × 25 mm Raster montiert werden.
Der MLL-400 kann als Basis für einen elektromagnetischen TRIPOD verwendet werden.
Anwendungen
Der MLL-400 wurde für anspruchsvolle Aufgaben in der industriellen Fertigung entwickelt, darunter Mikromontage, Pick-and-Place-Prozesse und die Ausrichtung von Werkstücken. Zu den weiteren Anwendungsbereichen zählen die hochpräzise additive Fertigung, Waferpositionierung sowie Laserbearbeitung.
Alle SMARSHIFT-Produkte sind für den Einsatz unter Umgebungsbedingungen sowie in Inertgasatmosphären wie Helium und Stickstoff geeignet. Reinraumkompatible Ausführungen sind ebenfalls verfügbar.
Spezifikationen
| PDF-Download | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| Degrees of Freedom | 2 |
| Travel [mm] | 200 | 300 |
| Continuous Force [N] | 7.5 |
| Peak Force [N] | 22.5 |
| Max. Normal Force [N] | 200 |
| Moving Mass [g] | 12000 (lower axis); 6000 (upper axis) |
| Dimensions [mm] | 400 × 400 × 70 |
| Weight [g] | 21000 |
| Material | |
| Material | |
| Base Material | Aluminum, black anodized |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| Sensor Types | SC |
| Max. Acceleration (no load) [m/s²] | 1 (lower axis); 2.5 (upper axis) |
| In-Position Stability [nm] | ±5 |
| Sensor Resolution MCS2 [nm] | 1 |
| Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm] | ±100 | ±150 |
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