同步加速器端站的多轴定位和探测系统
了解材料的微观和纳米结构需要多种不同的分析技术。最复杂的技术是使用同步辐射光源产生的聚焦 X 射线束。
为了更好地了解晶体的晶相、取向和应变/应力分布，以及它们的光学、电学、机械和表面特性，SmarAct 为台湾光源的 “FOcus x-Ray for MicrO-Structure Analysis”（FORMOSA）光束线终端站开发了一套独特的样品定位和探测系统。该系统结合了四个各具有三个自由度的微型机械手、一个样品台和一个具有六个自由度的全六脚类 SMARPOD，结构紧凑，可安装在真空室的狭小空间内。
多轴定位系统可在 X 射线束中以纳米分辨率移动样品，或将其定向到与系统相连的扫描电子显微镜的电子柱上。定制的 SMARPOD 在水平面和垂直面上的行程分别为 110 毫米和 80 毫米，倾斜角度可达 20°，以便将样品平台与安装在腔室中的不同探测器对齐。
© Ching-Shun Ku / TPS@NSRRC (图片来源)
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