Das Verständnis der Mikro- und Nanostruktur von Materialien erfordert viele unterschiedliche Analysetechniken. Die anspruchsvollsten Techniken beinhalten den Einsatz fokussierter Röntgenstrahlen, die von einer Synchrotron-Lichtquelle erzeugt werden.

Für ein besseres Verständnis der Kristallphasen, Orientierungen und Dehnungs-/Spannungsverteilung sowie ihrer optischen, elektrischen, mechanischen und Oberflächeneigenschaften entwickelte SmarAct ein einzigartiges Probenpositionierungs- und Sondiersystem für die Endstation der „FOcus x-Ray for MicrO-Structure Analysis“ (FORMOSA)-Beamline an der Taiwan Light Source. Das System kombiniert vier Mikromanipulatoren mit jeweils drei Freiheitsgraden, einen Probentisch und einen vollständigen, hexapodähnlichen SMARPOD mit sechs Freiheitsgraden in einem kompakten Aufbau, der in den stark begrenzten Raum einer Vakuumkammer passt.

Das Mehrachspositioniersystem ermöglicht es, die Probe mit Nanometerauflösung im Röntgenstrahl zu bewegen oder sie auf die Elektronensäule eines ebenfalls an das System angeschlossenen Rasterelektronenmikroskops (REM) auszurichten. Der kundenspezifisch angepasste SMARPOD bietet einen Verfahrweg von bis zu 110 mm × 80 mm in der horizontalen und 70 mm in der vertikalen Ebene und ermöglicht Kippwinkel von bis zu 20°, um die Probenplattform auf die verschiedenen an der Kammer montierten Detektoren auszurichten.

© Ching-Shun Ku / TPS@NSRRC (Bildnachweis)