TRIPOD 400-6DoF

TRIPOD 400-6DoF 有六个自由度,完全基于 SMARSHIFT 高精度电磁直接驱动。

TRIPOD 400-Core 以三个 MLS-92122 平台为基础,可实现 Z、Rx 和 Ry 运动。两台 MLL-400 和一台 MR-9224 定位器使系统更加完善,可提供 X、Y 和 Rz 轴的自由度。TRIPOD 400-6DoF 以其较大的 XY 平面行程范围和动态性能而著称。此外,即使在高速运行时,它也能承受高负载(最多 6 千克)。该系统配备了可调节的重力补偿装置和气动制动器,即使在断电和紧急制动时也能保持位置稳定。为了实现广泛的应用,我们提供顶板定制选项(开口、孔型等)。

旋转行程值以顶板表面的支点为基准。

对于不同的姿势,整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息,请参阅下载区中的 CAD 模型。

重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处,在全行程范围内,针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。

技术参数

下载规格表
下载规格表 Mechanical
Mechanical
行程 [mm] 200 (X); 200 (Y); 16 (Z)
行程 [°] 6 (Θx); 7 (Θy); 360 (Θz)
最大法向力 [N] 60
最大水平力 [N] Not allowed
尺寸 [mm] 400 x 400
平台离地高度 [mm] 183
重量 [g] 31000 (depends on the aperture option)
光圈 [mm] available
  Closed-Loop
Closed-Loop
最小步进增量 [nm] 1
最小步进增量 [µ°] 3
单向重复性 MCS2 [nm] ± 100(X,Y); ± 25(Z)
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