TRIPOD 400-6DoF
TRIPOD 400-Core 以三个 MLS-92122 平台为基础，可实现 Z、Rx 和 Ry 运动。两台 MLL-400 和一台 MR-9224 定位器使系统更加完善，可提供 X、Y 和 Rz 轴的自由度。TRIPOD 400-6DoF 以其较大的 XY 平面行程范围和动态性能而著称。此外，即使在高速运行时，它也能承受高负载（最多 6 千克）。该系统配备了可调节的重力补偿装置和气动制动器，即使在断电和紧急制动时也能保持位置稳定。为了实现广泛的应用，我们提供顶板定制选项（开口、孔型等）。
旋转行程值以顶板表面的支点为基准。
对于不同的姿势，整个系统的整体尺寸可能会更大。有关详细信息，请参阅下载区中的 CAD 模型。
重复性是在每个系统的顶板上方约 20 毫米处，在全行程范围内，针对单个自由度测量的。较短行程范围内的数值可能会更好。
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 200 (X); 200 (Y); 16 (Z) |
| 行程 [°] | 6 (Θx); 7 (Θy); 360 (Θz) |
| 最大法向力 [N] | 60 |
| Max. Horizontal Force [N] | Not allowed |
| 尺寸 [mm] | 400 x 400 |
| Height of Platform above Ground [mm] | 183 |
| 重量 [g] | 31000 (depends on the aperture option) |
| 孔径 [mm] | available |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| Smallest Increment [nm] | 1 |
| Smallest Increment [µ°] | 3 |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 100(X,Y); ± 25(Z) |
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