SOM-MS-180150 的 X 轴和 Y 轴行程分别为 123 毫米和 103 毫米，是所有 SmarAct 显微平台中行程范围最大的。SOM-MS-180150 以结构紧凑的 SLC 线性平台为基础，具有纳米级精度和最高的闭环重复性。平台长度为 286 毫米，宽度为 216 毫米，高度为 30 毫米。平台重量为 2380 克。
通过标准插件适配器和兼容面包板的底板，确保了与常见制造商的兼容性。盖板和平台本身均可高度定制。
SOM-MS-180150
技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| 行程 [mm] | 123 (X); 103 (Y) |
| 锁止力 [N] | ≥ 5.5 |
| 最大法向力 [N] | ≥ 20 |
| 尺寸 [mm] | 286 x 216 x 30 |
| 重量 [g] | 2380 |
| Open-loop | |
| Open-loop | |
| 开环分辨率 [nm] | <1 |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| Velocity [mm/s] | > 8 |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
| 单向重复性 MCS2 [nm] | ±180 (S), ±360 (L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复性 (H)CU [nm] | ±1000 (L) |
| Options | |
| Options | |
| 材料选项 | Aluminum base as standard; Black anodized (-BK) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Upon request |
| Accessories | |
| Accessories | |
| 兼容性 | SOM-AP-01,-02,-03,-04,-05 |
附件
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