技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 123 (X); 103 (Y) |
| 阻挡力 [N] | ≥ 5.5 |
| 最大法向力 [N] | ≥ 20 |
| 尺寸 [mm] | 286 x 216 x 30 |
| 重量 [g] | 2380 |
| 开环 | |
| 开环 | |
| Open-Loop Resolution [nm] | <1 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| Velocity [mm/s] | > 8 |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ±180 (S), ±360 (L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复精度 (H)CU [nm] | ±1000 (L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Aluminum base as standard; Black anodized (-BK) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) |
| 非磁性选项 | Upon request |
| 附件 | |
| 附件 | |
| 兼容性 | SOM-AP-01,-02,-03,-04,-05 |
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