技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 行程 [mm] | 31 (X); 31 (Y) |
| 最大法向力 [N] | ≥ 20 |
| 尺寸 [mm] | 113 x 113 x 31,15 |
| 重量 [g] | 360 |
| 开环 | |
| 开环 | |
| Open-Loop Resolution [nm] | < 1 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| Velocity [mm/s] | > 8 |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S) 4 (L) |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 50 (S), ± 100 (L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复精度 (H)CU [nm] | ±1000 (L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Aluminum base as standard; Black anodized (-BK) |
| 真空选项 | Upon request |
| 非磁性选项 | u53efu6309u9700u63d0u4f9b |
相关产品
咨询产品
您对SOM-MS-5050有任何疑问，或需要报价吗？请填写表单或直接联系我们。
有疑问？
联系我们！
联系我们！