CHS-9257 - 高负载阶段

这种长行程高负载平台配备了 SmarAct 的可更换驱动单元,在需要维修时可以将整个压电驱动装置从平台上拆下。由于可以从平台侧面接触驱动单元,因此在维修时无需将设备从定位装置上拆下。机械设计基于驱动楔块,可确保平台运动的最高分辨率。独立的导轨确保了沿负载方向的直线运动,并允许集成位置传感器,以实现直接位置反馈和闭环操作。安装孔的样式便于与 CLS92 系列直线运动平台拧紧。可根据要求增加最大提升力。

技术参数

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下载规格表 机械参数
机械参数
行程 [mm] 20
最大提升力 [N] 15
尺寸 [mm] 92 x 92 x 57
重量 [g] 935
  开环
开环
Velocity [mm/s] > 2
  闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm] 1 (S), 4 (L)
单向重复精度 MCS2 [nm] ± 40 (S,L)
传感器分辨率 (H)CU [nm] 100 (L)
单向重复精度 (H)CU [nm] ± 200 (S,L)
  选项
选项
材料选项 Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK)
真空选项 HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)

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  • Technical-Drawing_CHS-9257-1D
    Jul 29, 2021
  • Step-file-CHS-9257-1D
    Jul 29, 2021
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    Jul 29, 2021
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    Jul 29, 2021

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