技术参数
下载规格表
| 下载规格表 | 机械参数 |
|---|---|
| 机械参数 | |
| 自由度 | 1 |
| 行程 [mm] | 10 |
| 最大提升力 [N] | 10 |
| 尺寸 [mm] | 52 x 52 x 37 |
| 重量 [g] | 270 |
| 开环 | |
| 开环 | |
| Velocity [mm/s] | > 2 |
| 闭环 | |
| 闭环 | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | 1 (S), 4 (L) |
| 单向重复精度 MCS2 [nm] | ± 40 (S,L) |
| 传感器分辨率 (H)CU [nm] | 100 (L) |
| 单向重复精度 (H)CU [nm] | ± 200 (S,L) |
| 选项 | |
| 选项 | |
| 材料选项 | Aluminum base as standard; steel base (-ST); titanium base (-TI); black anodized (-BK) |
| 真空选项 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
下载
附件
相关产品
咨询产品
您对CHS-5237 - 高负载阶段有任何疑问,或需要报价吗?请填写表单或直接联系我们。
有疑问?
联系我们!
联系我们!