CLS-5252 - 带EDU的线性位移台

CLS-52 线性平台中最小的一款占地面积为 52 x 52 毫米，行程范围为 31 毫米，孔径为 9 毫米。此外，它还能承受最大 20 N 的有效载荷。

CLS 系列直线运动平台是专为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。

Technical-drawing_CLS5252

Mar 02, 2020

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Step-file_CLS5252

Nov 13, 2019

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技术参数

下载规格表

下载规格表	Mechanical
Mechanical
行程 [mm]	31
锁止力 [N]	≥ 3.5
最大法向力 [N]	20
最大提升力 [N]	> 1.0
尺寸 [mm]	52 x 52 x 14
重量 [g]	94
	Open-loop
Open-loop
Velocity [mm/s]	> 20
开环分辨率 MCS2 [nm]	< 1
开环分辨率 (H)CU [nm]	< 50
	Closed-Loop
Closed-Loop
传感器分辨率 MCS2 [nm]	1 (S), 4 (L)
传感器分辨率 (H)CU [nm]	100 (L)
单向重复性 MCS2 [nm]	± 40 (S,L)
单向重复性 (H)CU [nm]	± 200 (L)
	Options
Options
材料选项	Aluminum base as standard; Titanium base (-TI)
性能选项	Higher blocking force (-D): +1.5 N
真空选项	HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
非磁性选项	Yes