CLS-5282 - 带EDU的线性位移台

较大的 CLS-52 线性平台占地面积为 52 x 82 毫米，行程范围为 51 毫米，孔径为 9 毫米。此外，它还能处理高达 20 N 的有效载荷。

CLS 系列直线运动平台是专为科学和工业领域的高可用性应用而设计的。它们配备了可更换的 SmarActs 驱动单元，确保可以方便地接触到平台的核心部件--压电驱动装置。这使得维修工作变得非常简单。更换驱动单元时，无需将整个设备从周围的定位装置上拆下。此外，它们的安装孔型与我们的旋转平台和角度计的安装完全匹配。

Technical-drawing_CLS5282

Mar 02, 2020

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Step-file_CLS5282

Nov 13, 2019

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技术参数

下载规格表

下载规格表	机械参数
机械参数
行程 [mm]	51
阻挡力 [N]	≥ 3.5
最大法向力 [N]	20
最大提升力 [N]	> 1.0
尺寸 [mm]	52 x 82 x 14
重量 [g]	157
	开环
开环
Velocity [mm/s]	> 20
Open-Loop Resolution MCS2 [nm]	< 1
Open-Loop Resolution (H)CU [nm]	< 50
	闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm]	1 (S), 4 (L)
传感器分辨率 (H)CU [nm]	100 (L)
Uni-Directional Repeatability MCS2 [nm]	± 40 (S,L)
单向重复精度 (H)CU [nm]	± 200 (L)
	选项
选项
材料选项	Aluminum base as standard; Titanium base (-TI)
性能选项	Higher blocking force (-D): +1.5 N
真空选项	HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar)
非磁性选项	Yes