SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势,实现高达 100 μm 的高精度定位任务。
PLF3232-xy.60 在 X 和 Y 方向的扫描范围为 60 μm。它的重量仅为 45 克,体积仅为 32 x 32 x 20 毫米,非常轻巧。它将两台 PLF3232-x.60 扫描仪合二为一,结构高度较低,但性能相同。
由于其尺寸和孔型,它非常适合与其他线性平台和定位器(如 CLS-3232)配合使用,从而将大行程和高精度结合在一起。
| 下载规格表 | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| 刚度 [N/μm] | 0,5 |
| 扫描范围 [µm] | > 60 |
| 最大法向力 [N] | 5 |
| 尺寸 [mm] | 32 x 32 x 20 |
| 重量 [g] | 45 |
| Material | |
| Material | |
| 基材 | Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al) |
| Open-loop | |
| Open-loop | |
| 开环分辨率 MCS2 [nm] | MCS2: <1 |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| 传感器分辨率 MCS2 [nm] | MCS2: 1 (S) |
| Options | |
| Options | |
| 真空选项 | HV (10⁻⁶mbar) |
| 非磁性选项 | Yes (- NM) |