SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势,实现高达 100 μm 的高精度定位任务。
PLF3232-xy.60 在 X 和 Y 方向的扫描范围为 60 μm。它的重量仅为 45 克,体积仅为 32 x 32 x 20 毫米,非常轻巧。它将两台 PLF3232-x.60 扫描仪合二为一,结构高度较低,但性能相同。
由于其尺寸和孔型,它非常适合与其他线性平台和定位器(如 CLS-3232)配合使用,从而将大行程和高精度结合在一起。
纳米级定位扫描台,采用压电驱动机械柔性连接结构。
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