PLF3232-xy.60

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势,实现高达 100 μm 的高精度定位任务。

PLF3232-xy.60 在 X 和 Y 方向的扫描范围为 60 μm。它的重量仅为 45 克,体积仅为 32 x 32 x 20 毫米,非常轻巧。它将两台 PLF3232-x.60 扫描仪合二为一,结构高度较低,但性能相同。

由于其尺寸和孔型,它非常适合与其他线性平台和定位器(如 CLS-3232)配合使用,从而将大行程和高精度结合在一起。

  • Step-File_PLF3232-xy.60
    Feb 15, 2023
  • Technical-Drawing_PLF3232-xy.60
    Jul 17, 2024

技术参数

下载规格表
下载规格表 Mechanical
Mechanical
刚度 [N/μm] 0,5
扫描范围 [µm] > 60
最大法向力 [N] 5
尺寸 [mm] 32 x 32 x 20
重量 [g] 45
  Material
Material
基材 Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  Open-loop
Open-loop
开环分辨率 MCS2 [nm] MCS2: <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
传感器分辨率 MCS2 [nm] MCS2: 1 (S)
  Options
Options
真空选项 HV (10⁻⁶mbar)
非磁性选项 Yes (- NM)

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