PLF3232-xy.60
SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren.
Der PLF3232-xy.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X- und Y-Richtung. Mit 45 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 20 mm auch recht kompakt. Er vereint zwei PLF3232-x.60-Scanner in einem und bietet bei gleicher Leistung eine geringere Bauhöhe.
Aufgrund der Größe und des Lochbildes passt er ideal zu anderen Linearpositionierern, wie dem CLS-3232. Durch die Kombination lässt sich ein großer Verfahrbereich mit hoher Präzision realisieren.
Spezifikationen
| PDF-Download | Mechanical |
|---|---|
| Mechanical | |
| Stiffness [N/μm] | 0,5 |
| Scan Range [µm] | > 60 |
| Max. Normal Force [N] | 5 |
| Dimensions [mm] | 32 x 32 x 20 |
| Weight [g] | 45 |
| Material | |
| Material | |
| Base Material | Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al) |
| Open-loop | |
| Open-loop | |
| Open-Loop Resolution MCS2 [nm] | MCS2: <1 |
| Closed-Loop | |
| Closed-Loop | |
| Sensor Resolution MCS2 [nm] | MCS2: 1 (S) |
| Options | |
| Options | |
| Vacuum Options | HV (10⁻⁶mbar) |
| Non-Magnetic Option | Yes (- NM) |
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