PLF3232-xy.60

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren.

Der PLF3232-xy.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X- und Y-Richtung. Mit 45 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 20 mm auch recht kompakt. Er vereint zwei PLF3232-x.60-Scanner in einem und bietet bei gleicher Leistung eine geringere Bauhöhe.

Aufgrund der Größe und des Lochbildes passt er ideal zu anderen Linearpositionierern, wie dem CLS-3232. Durch die Kombination lässt sich ein großer Verfahrbereich mit hoher Präzision realisieren.

  • Step-File_PLF3232-xy.60
    Feb 15, 2023
  • Technical-Drawing_PLF3232-xy.60
    Jul 17, 2024

Spezifikationen

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Mechanical
Scantilt [µrad] ± 3.5
Stiffness [N/μm] 0,5
Scan Range [µm] > 60
Max. Normal Force [N] 5
Dimensions [mm] 32 x 32 x 20
Weight [g] 45
  Material
Material
Base Material Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  Open-loop
Open-loop
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1 (S)
  Options
Options
Vacuum Options HV (10⁻⁶mbar)
Non-Magnetic Option Yes (- NM)

Zubehör

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