SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren.
Der PLF3232-xy.60 bietet einen Scanbereich von 60 μm in X- und Y-Richtung. Mit 45 g ist er sehr leicht und mit 32 x 32 x 20 mm auch recht kompakt. Er vereint zwei PLF3232-x.60-Scanner in einem und bietet bei gleicher Leistung eine geringere Bauhöhe.
Aufgrund der Größe und des Lochbildes passt er ideal zu anderen Linearpositionierern, wie dem CLS-3232. Durch die Kombination lässt sich ein großer Verfahrbereich mit hoher Präzision realisieren.
PLF3232-xy.60
Spezifikationen
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PDF-Download | Mechanical |
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Mechanical | |
Scantilt [µrad] | ± 3.5 |
Stiffness [N/μm] | 0,5 |
Scan Range [µm] | > 60 |
Max. Normal Force [N] | 5 |
Dimensions [mm] | 32 x 32 x 20 |
Weight [g] | 45 |
Material | |
Material | |
Base Material | Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al) |
Open-loop | |
Open-loop | |
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] | MCS2: <1 |
Closed-Loop | |
Closed-Loop | |
Sensor Resolution MCS2 [nm] | MCS2: <1 (S) |
Options | |
Options | |
Vacuum Options | HV (10⁻⁶mbar) |
Non-Magnetic Option | Yes (- NM) |
Zubehör
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