PLF5252-x.200

SMARFLEX 纳米定位扫描平台利用压电驱动机械挠性规的优势，实现了高达 100 μm 的高精度定位任务。

PLF5252-x.200 在 X 方向的扫描范围超过 200 μm。其重量仅为 90 克，体积仅为 52 x 52 x 15 毫米，非常轻巧。

发送询价 技术参数

技术参数

下载规格表
下载规格表 机械参数
机械参数
Stiffness [N/μm] 0,1
扫描范围 [µm] > 200
最大法向力 [N] 5.0
尺寸 [mm] 52 x 52 x 15
重量 [g] 90
  材料
材料
基材 Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  开环
开环
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1
  闭环
闭环
传感器分辨率 MCS2 [nm] MCS2: 1 (S)
  选项
选项
真空选项 HV (10⁻⁶mbar)
非磁性选项 Yes (- NM)

下载

  • Step-File_PLF5252-x.200
    Jan 12, 2023
    下载
  • Technical-Drawing_PLF5252-x.200
    Jan 12, 2023
    下载

附件

MCS2

MCS2 是 SmarAct 功能最全面的模块化控制系统。

工程服务

我们的产品组合尚未涵盖您的应用？我们很乐意为您开发合适的产品！

软件开发工具包

将 SmarAct 运动产品轻松集成到现有客户软件解决方案中。

咨询产品

您对PLF5252-x.200有任何疑问，或需要报价吗？请填写表单或直接联系我们。

In order to process your request as quickly as possible, please include the name of your institution and its location in your message.

有疑问？
联系我们！

SmarAct

技术销售

I have read the privacy protection statement and accept it