PLF5252-x.200

SMARFLEX Nanopositionier-Scanner nutzen die Vorteile piezogetriebener mechanischer Biegungen, um hochpräzise Positionieraufgaben bis zu mehreren 100 μm zu realisieren.

Der PLF5252-x.200 bietet einen Scanbereich von über 200 μm in X-Richtung. Mit 90 g ist er sehr leicht und mit 52 x 52 x 15 mm auch recht kompakt.

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    Jan 12, 2023
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    Jan 12, 2023

Spezifikationen

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Mechanical
Scantilt [µrad] ± 5
Stiffness [N/μm] 0,1
Scan Range [µm] > 200
Max. Normal Force [N] 5.0
Dimensions [mm] 52 x 52 x 15
Weight [g] 90
  Material
Material
Base Material Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
  Open-loop
Open-loop
Open-Loop Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1
  Closed-Loop
Closed-Loop
Sensor Resolution MCS2 [nm] MCS2: <1 (S)
  Options
Options
Vacuum Options HV (10⁻⁶mbar)
Non-Magnetic Option Yes (- NM)

Zubehör

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